企业风采三英精控亮相第十届CSEAC

近日三英精控（天津）仪器设备有限公司（以下简称“三英精控”）亮相第十届（2022年）中国半导体设备年会暨半导体设备与核心部件展示会（CSEAC）展出了纳米位移电容传感器、高速偏摆镜、大行程高精度运动控制平台、纳米和亚纳米运动控制平台、精密运动控制集成系统等系列产品，吸引了众多专家、客户驻足观看与咨询洽谈。

“三英精控聚焦半导体行业针对我国近年来半导体行业装备自主开发生产中卡脖子问题提出了一系列解决方案。例如电容位移传感器是制造光刻机的核心器件三英精控自主研发的纳米位移电容传感器具有结构简单、非接触、频响宽等特点已良好地应用于光刻机物镜调整系统。另外三英精控针对半导体装备研发生产了纳米级定位平台系列产品可广泛地应用到半导体加工与检测设备、芯片封装等设备上。”三英精控负责人表示。

三英精控位于武清开发区创业总部基地是一家专业从事精密运动控制技术和产品开发致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统技术解决方案的科技公司。该公司拥有集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体的核心技术，在纳米运动控制技术方面具有先进技术和丰富经验且具有该类技术自主知识产权。目前已与多家科研机构和企业开展合作未来三英精控将持续秉承“高端创新、精益制造”的宗旨以“打造中国高端制造的国际品牌”为目标，为中国制造装备产业升级、转型提供关键技术助力“中国制造2025”。